Mikroplasmen mit induktiver Einkopplung der Mikrowellenleistung: Plasmen mit Abmessungen von wenigen mm, die durch berührungslose Übertragung der Leistung als Mikrowellen (Wellen mit einer Frequenz im Gigahertz-Bereich die auch zur Beheizung in Kuechenherden verwendet werden) elektrodenlos uebertragen wird.